(1)便攜性:許多鋰電池殼檢漏設(shè)備不僅靈敏度高,而且便于攜帶,為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達數(shù)百帕,對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動化:氦峰自動標定,零點自動調(diào)整,量程自動轉(zhuǎn)換,數(shù)據(jù)自動處理,可外接打印機。全機由微電腦控制,具有選菜功能,一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵,達到無油蒸汽的效果,為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。
鋰電池殼檢漏設(shè)備的較小可檢漏率(靈敏度),指的是在檢漏裝置在處于一個較佳的工作條件下(示漏氣體采用的是一個大氣壓的純氦),做“動態(tài)檢漏”時能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少,且沒有較大漏孔;檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動態(tài)檢漏。
指不用累積法進行檢漏,檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進行抽真空,裝置的反應(yīng)時長小于3s,3s當中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的;
3、較小可檢。
指其信號是本底噪聲的兩倍;
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣(100kPa的壓力)經(jīng)漏孔通向真空端(遠遠低于100kPa的壓力)的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀,為表征這種反應(yīng)特性,較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度,即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”,指處在工作壓力下(工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa)的質(zhì)譜室,使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時,當中氦的濃度。